Funkcia principo de vakua tega maŝino

Vakua tega maŝino estas aparato, kiu deponas metalajn maldikajn filmojn sur la surfacon de substrato.Ĝia baza funkcia principo estas dividita en tri paŝojn: purigado, vaporiĝo kaj deponado.
1. Purigado
Antaŭ vaporiĝa demetado, la vaporiĝa ĉambro devas esti purigita.Ĉar povas esti oksidoj, graso, polvo kaj aliaj substancoj alkroĉitaj al la surfaco de la vaporiĝa ĉambro, ĉi tiuj influos la kvaliton de la filmo.Purigado kutime uzas kemiajn aŭ fizikajn metodojn.
2. vaporiĝo
La dezirata materialo estas varmigita super sia frostopunkto tiel ke ĝi formas gasajn molekulojn.La gasaj molekuloj tiam estas eskapitaj en la vakuokamero en la vaporiĝkameron.Ĉi tiu procezo nomiĝas vaporiĝo.La temperaturo, premo kaj rapideco de vaporiĝo influas la komponadon, strukturon kaj ecojn de la filmo.
3. Depozicio
La gasaj molekuloj de la materialo en la vaporiĝa ĉambro eniras la reakcian ĉambron tra la malplena tubo, reagas kun la aktiva materialo, kaj poste deponas la produkton sur la surfacon de la substrato.Ĉi tiu procezo nomiĝas sedimentado.La temperaturo, premo kaj indico de demetaĵo ankaŭ influas la kvaliton kaj efikecon de la filmo.
2. Apliko
Vakuaj tegaj maŝinoj estas vaste uzataj en materiala scienco, optiko, elektroniko kaj aliaj kampoj.
1. Materiala Scienco
Vakuaj tegmaŝinoj povas prepari maldikajn filmojn el diversaj metaloj, alojoj, oksidoj, silikatoj kaj aliaj materialoj, kaj estas vaste uzataj en tegaĵoj, optikaj filmoj, optika stokado, ekranoj, transistoroj kaj aliaj kampoj.
2. Optiko
La vakua tega maŝino povas prepari metalajn kaj alojajn filmojn kun alta reflektiveco kaj optikajn filmojn kun specialaj funkcioj.Ĉi tiuj filmoj povas esti uzataj en sunpaneloj, alt-efikecaj elektronaj mikroskopoj, aeroĝeloj, UV/IR-sensiloj, optikaj filtriloj kaj aliaj kampoj.
3. Elektroniko
Vakuaj tegmaŝinoj povas prepari nanoskalajn elektronikajn materialojn kaj mikroelektronikajn aparatojn.Ĉi tiuj filmoj povas esti uzataj en nanotransistoroj, magnetaj memoroj, sensiloj kaj aliaj kampoj.
Resume, la vakua tega maŝino ne nur povas prepari diversajn maldikajn materialojn, sed ankaŭ prepari maldikajn filmojn kun specialaj funkcioj laŭbezone.En la estonteco, vakua tegteknologio estos pli vaste uzata kaj promociita.